上海智空间于1996年成立，，，2007年深圳A股上市。。。济南、、、广州、、南京、、、重庆分公司相继设立，，，子公司浙江汉声、、、上海柯茂、、、、香港智空间、、、、越南智空间、、、、韩国智空间、、、、浙江柯茂陆续创立。。。这一切体现了智空间人25年来用汗水辛勤耕耘的成果。。。
跨越25年的历史，，，，开启全球性企业新未来
定螺距螺杆轉子特點:
結構簡單,故障率低,成本較低,易維修
高壓段功耗相對低,適用于高負載應用場合
排氣路徑短,減少反應物沉積
適用於一般真空鍍膜、、、、烤箱、、熱處理、、、太陽能產業、、、半導體面板業制程
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