上海智空间于1996年成立，，2007年深圳A股上市。。。济南、、、广州、、、南京、、重庆分公司相继设立，，，子公司浙江汉声、、、、上海柯茂、、、香港智空间、、、越南智空间、、韩国智空间、、、浙江柯茂陆续创立。。。。这一切体现了智空间人25年来用汗水辛勤耕耘的成果。。
跨越25年的历史，，，，开启全球性企业新未来
用途： Etch 、、、、Implant、、、HDP-CVD、、、、SACVD、、、、MOCVD、、、、LPCVD、、、ALD
特點：
iPH系列螺杆真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能，，，，適用于嚴苛制程
它優良的性能源自於最短的轉子排氣路徑和優越的轉子型線設計
漢鐘獨特型線設計，，上海、、、、臺灣製造
較之前的版本節能25%，，，配置有省電模式
帶有加熱系統避免制程物沉積
優化的尺寸，，，，隨插即用
產品樣本和技術手冊
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