上海智空间于1996年成立，，，2007年深圳A股上市。。。。济南、、、、广州、、南京、、、重庆分公司相继设立，，，子公司浙江汉声、、、、上海柯茂、、、、香港智空间、、、越南智空间、、韩国智空间、、、、浙江柯茂陆续创立。。。。这一切体现了智空间人25年来用汗水辛勤耕耘的成果。。。
跨越25年的历史，，，开启全球性企业新未来
用途：Load Lock、、、、Transfer、、、Metrology、、、、PVD、、Etch、、Ashing、、、Litho 、、Implant
特點：
綠色製造、、、、全新系列幹式真空泵
體積小、、、、耗工低、、、、大幅度降低成本
用於中度嚴苛制程的節能泵
產品樣本和技術手冊
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