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    IPH半导体中度严苛系列

    用途：

    Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD


    特点：


    IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，，适用于严苛制程。。。。

    它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。。。。

    智空间独特型线设计，，，，上海，，，，台湾，，制造。。。

    较之前的版本节能25%，，，配置有省电模式。。。

    带有加热系统避免制程物沉积。。。。

    优化的尺寸，，，即插即用。。。


    规格型号
    产品样本和技术手册

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    产品样本和技术手册

    产品外观图

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