智空间集团于1994年成立办事处，，，2007年深圳A股上市。。。。济南、、、广州、、南京、、、重庆分公司相继设立，，，，子公司浙江汉声、、、、上海柯茂、、香港智空间、、越南智空间、、、、韩国智空间、、、、浙江柯茂陆续创立。。这一切体现了智空间人27年来用汗水辛勤耕耘的成果。。
跨越27年的历史，，，开启全球性企业新未来
用途：
Load Lock、、、Transfer、、、、Metrology、、PVD、、、、Etch、、Ashing、、、Litho、、、、Implant
特点：
绿色制造、、、全新系列干式真空泵
体积小、、、、耗功低、、、大幅度降低成本
用于中度严苛制程的节能泵
产品样本和技术手册
名称
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2021-01-04
产品外观图
